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降低容器或腔室內(nèi)的壓力以形成真空的設(shè)備。分機(jī)械泵、擴(kuò)散泵和離子泵三種。其基本方法是用物理法從容器內(nèi)排出氣體分子并從系統(tǒng)中排掉，或者從氣相中除去氣體分子，但留在系統(tǒng)中，例如成為液體。
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