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利用電子束代替光束來照射物體并使其像放大的顯微鏡。電子束通過作為電子折射媒質(zhì)的靜電透鏡或磁透鏡進(jìn)行聚焦。利用足夠高的加速電壓，能夠產(chǎn)生出波長(zhǎng)比普通光短數(shù)千倍的電子波，放大倍數(shù)達(dá)10萬倍以上。用于研究病毒、蛋白分子和金屬表面。透視式電子顯微鏡產(chǎn)生平面圖象，分辨度很高。掃描式電子顯微鏡用電子束在試樣上逐點(diǎn)掃描，產(chǎn)生立體圖象，但分辨度不及透視式。
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